直线电机平台：

*双边驱动系统

两支NVA-BM高推力型直线电机被用于X轴。通过使用“双边驱动”生成的推力1800N。定位精度在1微米。通过使用并行驱动系统，它可以降低成本和设备的大小。

直线电机平台：

*高精度型 

高推力型NVA-BM直线电机被用于X轴。 超薄型NVA-AM直线电机被用于Y轴，编码器分辨率高达0.02μm，但它仍然可以运行在1500mm/sec速度。 可实现1μm的定位精度和速度变化为0.03％。 高精度DD马达用于θ轴，其径向和轴向的跳动小于10微米。